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1200度單溫區(qū)CVD系統(tǒng)

簡要描述:CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ,最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調節(jié)可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-12-31
  • 訪  問  量:2187

詳細介紹

簡介:

這款CVD系統(tǒng)是由3路供氣系統(tǒng)+1200度單溫區(qū)管式爐+真空系統(tǒng)組成


技術參數


設備型號MFLCVD406-12
性能控溫范圍室溫-1200℃
工作溫度≤1100℃
控溫精度<1000   ±0.1℃ ; ≥1000±1℃
恒溫波動±1℃(測試點為1000℃)


升溫速度推薦1000度以下≤10℃/min,最快升溫速度≤30℃/min
降溫速度700℃以上≤10℃/min
爐表溫度爐體表面溫度小于室溫+10(測量點為1000℃)
構成外裝冷軋鋼板,表面耐藥性涂裝
爐體陶瓷纖維
傳感器1200度K型熱電偶
加熱元件HDR優(yōu)質電阻合金絲
冷卻風葉軸流風扇
爐體結構雙層殼體結構,配有風冷系統(tǒng)
控制器控制方式PID控制
設定表示數字設定/數字顯示
超溫保護控制器一體型
超溫設定數字設定
運行功能定制運行/程序運行(30段程序控溫)
附加功能偏差修正、停電補償、鎖鍵功能
定時器1分-99小時59分以及999小時50分數字設定、自動運行、快速自動停止
真空系統(tǒng)真空度1.選配機械泵可達真空   10的-2次pa                                            2.選配我司高真空系統(tǒng)(機械泵+分子泵組合),可達1.33*10的-4次方pa(空爐狀態(tài))
隔熱管堵2只,氧化鋁材料
爐管石英管
真空法欄不銹鋼真空法蘭
壓力表-0.1至0.15mpa
供氣系統(tǒng)質子流質計量程和氣體:5-500SCCM、1-10SLM  (你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型)                                                                流量控制精度  ±1.0%F.S
路數1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)
接頭類型雙卡套不銹鋼接頭
壓力真空表表-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格
安全工作環(huán)境RT±5-40℃
使用保障開門斷電   超溫報警 漏電保護 過溫保護
規(guī)格爐體結構臥式
爐管尺寸Φ60mm
電源電壓220V50HZ
輸入功率4KW
出廠清單管式爐一臺
供氣系統(tǒng)一套
高溫手套卡斯頓一雙
爐勾一把
氣管一根
設備說明書一份
儀表說明書一份
保修卡一份
選購品移動爐架不銹鋼
觸摸屏儀表485轉換接口50段編程,可實現(xiàn)與計算機連接。通過專用的計算機控制系統(tǒng)來完成與單臺或多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。




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